​ CNC精密零配件加工（gōng）的特（tè）點

     超精密零配件加工方（fāng）法的特點是對外表層物質（zhì）去除或添加的量能夠作極細（xì）微的控（kòng）製。但是（shì）要獲得（dé）cnc超精密零件加工精度，仍（réng）有賴於精密的加工設備和準確（què）的克製係統，並采用超精密掩膜（mó）作中介物。例如超大規模集成電路的製版即使采用電子束對掩膜上的光致（zhì）抗蝕劑（見光刻）舉行曝射，使光致抗蝕劑的原子在電子撞擊下（xià）直接聚合(或分（fèn）解)，再（zài）用顯影劑把聚合過（guò）的（de）或未聚（jù）合過的部分溶解掉，製成掩膜。電（diàn）子束曝射製版必要采用工作台定位精度高達±0.01微米的超精密加工設備。

    超精密零配件加工，主要有超精密車削、鏡麵磨削和研磨等。在超精密車床上用通過（guò）精細研磨的單（dān）晶（jīng）金剛石車刀舉行微量（liàng）車削,切削厚度僅1微米左右，常用（yòng）於加工有色金屬材料的球麵、非球麵和平麵的反射鏡等高精度（dù）、外表（biǎo）高度光潔的零件（jiàn）。例如（rú）加工（gōng）核聚變裝置（zhì）用（yòng）的直徑為800毫米的非球麵反射鏡，高精度可達0.1微米，外表粗糙度為Rz0.05微米。

     超精密零配件加工精度以納米，甚至後以原子單（dān）位(原子晶格距（jù）離為0.1～0.2納（nà）米)為目標時，超精密零件切削加工方法已（yǐ）不能適應，必要（yào）借助特種精密零配（pèi）件加工的方法，即應用化學能（néng）、電（diàn）化學能、熱能或電能等，使這些能量超越原（yuán）子間的聯合能，從而去除工（gōng）件外表的部分原子間（jiān）的附著、聯合或晶格變形，以達（dá）到超精密（mì）加工的目的。屬於（yú）這類加工的有機械化學拋光、離子濺射和離子注入、電子束曝射、激（jī）光束加工（gōng）、金屬蒸（zhēng）鍍（dù）和分子束外延等。