1、半導體潔淨車間(jiān)的潔淨生產區
潔淨生(shēng)產區的氣體潔淨室等級需根據商(shāng)品生產工藝流程的(de)規定來明確,這是潔淨工程建築廠(chǎng)房設計(jì)的關鍵依據,客戶除(chú)了出示基本(běn)的施工工程圖紙外,還應出示所生產製造商品的各種各樣設計標準,如溫度、濕度、氣旋流形要求,生產所需原(yuán)輔材料特性(xìng)及水、電、氣(qì)要求等。
2、機器設備區
即空調淨化(huà)係統軟件、公用電廠等,是潔淨廠房的關鍵組成部分。在半導(dǎo)體潔淨車間設計(jì)中,空調淨化機器設備、製(zhì)冷供(gòng)暖應布置在淨化車間內,便於管理,減少管道長度(dù)。
3、潔淨輔助(zhù)間
這是半導體潔淨車間不可或缺(quē)的房間,房間的氣體潔淨室等級除開按顧客規定開展設計(jì)外,均按《潔淨廠房設計規(guī)範》GB50073-2001的要(yào)求設計。
4、管理區
這是半導體(tǐ)潔淨車間內的商品加工過程的企業生產管理、技術水平的管理和必需(xū)的實際操作工作人員的管理區域。