風速控製:潔淨棚內的氣流是左右潔淨室性能的重要因素,一般潔淨室(shì)的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間,此氣流速度屬微風區域,易受人、機器等的動作而幹擾趨於混亂、雖提高風速可抑製此一擾亂之影(yǐng)響而(ér)保持潔淨度、但因風速的提高,將影響運(yùn)轉成本的增加,所以應在滿足要(yào)求的潔淨度水準之時,能(néng)以最適當的風速供應,以達到(dào)適當的風速供應以達到經濟性效果。
另一方麵要(yào)達到潔淨室潔淨度的穩定效(xiào)果,均一氣(qì)流的保持也是重(chóng)要因(yīn)素(sù),均勻氣(qì)流若無法保持,表示風速有異,特別是在壁麵,氣流會延著壁麵發生渦流作用,此時要實現高潔淨度事實上很困難。
垂直層(céng)流式方向要(yào)保持均一氣流必須(xū):(a)吹出麵的風速不可有(yǒu)速度上的差異;(b)地板回風板吸入麵之風速不可有速度上的差異(yì)。速度過低(dī)或過高(0.2m/s,0.7m/s)均有渦流之現象發生,而0.5m/s之速度,氣流則較均一,一般潔淨室,其風速均(jun1)取在0.25~0.5m/s之間。
影響潔淨度因素:影響潔淨棚的氣(qì)流因素很多,如製程設備、人員、潔淨室組裝材料、照明器具等,同時對於生產設(shè)備上方氣流的分流點,亦應列入考慮因素。一般操作台或生產設備等表麵的氣流分流點,應設於(yú)潔淨室空間與隔牆板間距2/3之處,如此可使作業人員工(gōng)作時,氣流可從製程區內部流向作業區,而將微塵帶走(zǒu);若分流(liú)點配置在製程區前方,將成為不當的氣流分流,此時大部份的氣流將流至製程區之後,作業員操作所引起的塵埃將被帶到設備(bèi)後麵(miàn),工作台(tái)因而將(jiāng)受到汙染,良(liáng)率也勢必降低。潔淨室內的工作桌等障(zhàng)礙(ài)物,在相接處均會有渦流現象發生,相(xiàng)對地在其附近之潔淨度將會較差,在工作桌麵鑽上回風孔(kǒng),將使(shǐ)渦流現象減少最低;組裝(zhuāng)材料之選擇是否恰當、設備布局是否完善,亦(yì)為氣流是否成為渦流現象之重要因素。風機從FFU頂部將空氣吸入,經初效過濾器,高效過濾器過濾,過濾後的潔淨空氣在整(zhěng)個出風麵0.45m/s±20%的風速勻速送出到潔淨棚內。形成(chéng)均流層(céng),使潔淨空氣氣流呈垂直單向流,從而(ér)保證了工作區內所要求的潔淨度(dù)。潔淨棚是能快速組建的簡易潔淨室(shì),其(qí)具有安裝快速、施工周期短、價格低廉、移動方便等特點,把主要生產工序控製(zhì)在較小的環境(jìng)內也是潔淨室設計的最佳選擇。